Всички знаем, че има много спецификации на целта за разпръскване,който има awидеален обхват на приложение.Tцелевите сортове, които обикновено се използват в различни индустрии, също са различни, нека дойдем днес с ПекинРичмат заедно, за да научите повече за индустриалната класификация на целите за разпръскване.
一、Дефиниция на материал за цел за разпрашаване
Разпрашването е една от основните технологии за получаване на тънкослойни материали.Той използва йони, генерирани от йонен източник, за да образува йонен лъч с висока скорост на енергия чрез ускорено агрегиране във вакуум. Бомбардирани твърда повърхност, йони и атоми на твърда повърхност обменят кинетична енергия, така че атомите на твърдата повърхност напускат твърдото вещество и се отлагат върху повърхността на субстрата, бомбардираното твърдо вещество е суровината за приготвяне на нанесения чрез разпрашаване филм, известен като мишена за разпрашаване.
二、Класификация на полето на приложение на материали за мишени за разпрашаване
1、Полупроводникова цел
(1)Често използван материал:Обичайните цели в тази област включват тантал, мед, титан, алуминий, злато, никел и други метали с висока точка на топене.
(2)Използване:Основно използване при решаващите оригинални данни на интегралната схема
(3)Функционални изисквания:Техническите изисквания за чистота, размер, интеграция са високи.
2、Целеви материал за планарен дисплей
(1)Често използван материал:Целите, които обикновено се използват в тази област, включват алуминий/мед/молибден/никел/ниобий/силиций/хром и др.
(2)Използване:Този вид целеви материал се използва главно в различни видове филми с голяма площ на телевизори и лаптопи。
(3)Функционални изисквания:Високи изисквания за чистота, голяма площ, еднородност и т.н.
3、Мишени за слънчеви клетки
(1)Често използван материал:Мишените от алуминий/мед/молибден/хром/ITO/Ta обикновено се използват в слънчевите клетки.
(2)Използване:Използва се главно в „прозоречен слой“, бариерен слой, електрод и проводим филм и други случаи。
(3)Функционални изисквания:Високи изисквания за умения, широк обхват на употреба.
4、Целеви материал за съхранение на информация
(1)Често използван материал:Съхраняване на информация често използвани целеви материали от кобалт/никел/феросплави/хром/телур/селен.
(2)Използване:Целевият материал тук се използва главно за главата, средния слой и долния слой на CD-ROM и CD.
(3) Функционални изисквания:Необходима е висока плътност на съхранение и висока скорост на предаване.
5、Целеви материал за модификация на инструмента
(1)Често използван материал:Инструмент за модификация на титан/цирконий/решетка/хром-алуминиева сплав и други цели.
(2)Употреба:Обикновено се използва за подобряване на външния вид.
(3)Функционални изисквания:Високи функционални изисквания, дълъг експлоатационен живот.
6、Целеви материали за електронни устройства
(1)Често използван материал:Мишените от алуминиева сплав/силицид обикновено се използват в електронни устройства
(2)Използване:Обикновено се използва за филмови резистори и кондензатори.
(3)Функционални изисквания:Малък размер, стабилност, нисък температурен коефициент на устойчивост
Време на публикуване: 21 април 2022 г