Вакуумното покритие при избора на целеви материали за разпрашаване е проблем за хората в момента, тъй като покритието за разпрашаване, особено развитието на уменията за нанасяне на покритие за магнетронно разпрашване, може да се каже за всякаква информация, за да може да се насочи подготовката на материали за тънки филми чрез йонно бомбардиране, тъй като чрез разпръскване на целевия материал в процеса на нанасяне на покритие върху вида на субстрата, има важен ефект върху качеството на разпръскващия филм, следователно изискванията за целевия материал са по-строги.Тук ще научим за ролята на мишената за разпрашаване във вакуумното покритие заедно с редактора на Beijing Relaxation
一、Принцип на подбор и класификация на целевия материал
При избора на целевия материал, в допълнение към използването на самия филм, трябва да се изберат и следните проблеми:
Проблем 1. Съгласно изискванията за употреба и производителност на мембраната е необходимо целевият материал да отговаря на техническите изисквания за чистота, съдържание на списанието, еднородност на компонентите, точност на обработка и т.н.
Проблем 2. Целевият материал трябва да има добра механична якост и химическа стабилност след образуване на филм;
Проблем 3. Необходимо е филмовият материал лесно да генерира комбиниран филм с реакционния газ като реактивен разпръскващ филм;
Проблем 4. Необходимо е да се настрои целта и матрицата да бъдат здрави, в противен случай трябва да се приеме филмовият материал с добра адхезия към матрицата, първо да се напръска слой от дънен филм и след това да се подготви необходимия филмов слой;
Въпрос 5. От предпоставката за изпълнение на изискванията за ефективност на филма, колкото по-малка е разликата между коефициента на топлинно разширение на мишената и матрицата, толкова по-добре, така че да се намали влиянието на топлинния стрес на разпръскващия филм;
Подготовка на няколко често използвани мишени
(1) цел cr
Хромът като разпръскващ филмов материал е не само лесен за комбиниране с основния материал, има висока адхезия, а хромовият и оксиден CrQ3 филм, неговите механични свойства, киселинна устойчивост и термична стабилност са по-добри.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. основно се занимава с: титаниева мишена, циркониева мишена, алуминиева мишена, никелова мишена, хромова мишена, волфрамова мишена, молибденова мишена, медна мишена, силиконова мишена, ниобиева мишена, танталова мишена, титаново-силициева сплав мишена, мишена от титаниево-ниобиева сплав, мишена от титаниево-волфрамова сплав, мишена от титаниево-циркониева сплав, мишена от никел-хромова сплав, мишена от силициево-алуминиева сплав, мишена от никел-ванадиева сплав, мишена от трикомпонентна сплав хром-алуминий-силиций，Ti al si целеви материал от тройна сплав, широко използван в декорация/твърда повърхност и функционално покритие, архитектурно стъкло, плосък дисплей/оптично фотоелектричество, оптично съхранение, електроника, печат и други професии.
Време на публикуване: 02 юни 2022 г