Целта има широк пазар, област на приложение и голямо развитие в бъдеще.За да ви помогне да разберете по-добре целевите функции, тук по-долу RSM инженерът ще представи накратко основните функционални изисквания на целта.
Чистота: чистотата е един от основните функционални показатели на целта, тъй като чистотата на целта има голямо влияние върху функцията на филма.При практическо приложение обаче изискванията за чистота на целта също са различни.Например, с бързото развитие на индустрията за микроелектроника, размерът на силициевата пластина се разширява от 6 "на 8" до 12", а ширината на окабеляването е намалена от 0,5um на 0,25um, 0,18um или дори 0,13um.Преди това 99,995% от целевата чистота можеше да отговори на изискванията на процеса от 0,35 umic, докато подготовката на 0,18 um линии изисква 99,999% или дори 99,9999% от целевата чистота.
Съдържание на примеси: примесите в целевите твърди вещества и кислородът и водните пари в порите са основните източници на замърсяване на отложените филми.Мишените за различни цели имат различни изисквания за различно съдържание на примеси.Например мишените от чист алуминий и алуминиеви сплави, използвани в полупроводниковата индустрия, имат специални изисквания за съдържание на алкални метали и съдържание на радиоактивни елементи.
Плътност: за да се намалят порите в целевото твърдо вещество и да се подобри функцията на разпрашващия филм, обикновено се изисква целта да има висока плътност.Плътността на целта не само влияе върху скоростта на разпръскване, но също така влияе върху електрическите и оптичните функции на филма.Колкото по-висока е целевата плътност, толкова по-добра е функцията на филма.В допълнение, плътността и здравината на мишената са подобрени, така че мишената да може по-добре да приеме топлинния стрес в процеса на разпръскване.Плътността също е един от ключовите функционални показатели на целта.
Време на публикуване: 20 май 2022 г