Какви са материалите за мишени за магнетронно разпръскване

Материал за цел за метално разпръскване, покривен материал за покритие от сплав за разпръскване, материал за керамично покритие за разпръскване, боридни керамични целеви материали за разпръскване, карбид керамичен целеви материал за разпрашване, флуориден керамичен материал за разпрашване на мишени, нитридни керамични материали за разпрашване на мишени, оксидна керамична мишена, селенидна керамична мишена за разпръскване, Силицидни керамични мишени за разпръскване, сулфидни керамични мишени за разпръскване, телуридна керамична мишена за разпръскване, друга керамична мишена, легирана с хром силициев оксид керамична мишена (CR-SiO), мишена от индиев фосфид (InP), мишена от оловен арсенид (PbAs), индиев арсенид цел (InAs).

Целевите материали за разпрашаване с висока чистота и висока плътност са:

Целен материал за разпрашаване (чистота: 99,9% -99,999%)

1. Метална цел:

Мишена от никел, Ni, мишена от титан, Ti, мишена от цинк, Zn, мишена от хром, Cr, мишена от магнезий, Mg, мишена от ниобий, Nb, мишена от калай, Sn, мишена от алуминий, Al, мишена от индий, In, мишена от желязо, Fe, Циркониева алуминиева мишена, ZrAl, Титанова алуминиева мишена, TiAl, Циркониева мишена, Zr, алуминиево-силициева мишена, AlSi, силициева мишена, Si, медна мишена Cu, танталова мишена T, A, Германиева мишена, Ge, сребърна мишена, Ag, кобалт мишена, Co, златна мишена, Au, гадолиниева мишена, Gd, лантанова мишена, La, итриева мишена, Y, цериева мишена, Ce, волфрамова мишена, W, мишена от неръждаема стомана, никел-хромова мишена, NiCr, хафниева мишена, Hf, молибденова цел, Mo, Fe-Ni цел, FeNi, волфрамова цел, W и др.

2. Керамичен целеви материал

ITO целева цел, железен оксид, магнезиев оксид цел, цел, цел, силициев карбид силициев нитрид титанов нитрид цел целева цел, цел, цинков сулфид, цинков оксид, хромен оксид, силициев диоксид, цел, цел силициев оксид, цериев оксид цел, цел, пет циркониев диоксид кислород HuaEr ниобий цел, цел, титанов диоксид, циркониев диоксид, хафниева цел, цел, титанов диборид диборид циркониева цел, волфрамов триоксид цел, алуминиев триоксид цел танталов пентаоксид, ниобиев пентаоксид цел, магнезиев флуорид цел, итриев флуорид мишена, мишена от цинков селенид, мишена от алуминиев нитрид, мишена от силициев нитрид, мишена от борен нитрид, мишена от титанов нитрид, мишена от силициев карбид, мишена от литиев ниобат, мишена от празеодимов титанат, мишена от бариев титанат, мишена от лантанов титанат, мишена от никелов оксид, цел за разпрашаване и др. .