С развитието на промишлената технология качеството на мишените, необходими за промишленото производство, също става все по-високо и по-високо, тъй като качеството на мишените пряко влияе върху производителността на филмите за магнетронно разпръскване.В днешно време предприятията обикновено предпочитат да използват мишени с висока плътност с еднаква структура на състава за разпръскващо покритие при закупуване на мишени, така че да се намали многократното зашиване на мишени и да се подобри качеството на разпръскващите покрития. Следователно, това изисква производителят на мишената да стриктно контролирайте качеството на целта. Сега нека редакторът на ПекинРичматще ви помогне да разберете какви фактори влияят върху качеството на целта.
1、Влиянието на параметрите на процеса върху качеството на целта
Параметрите на процеса включват главно налягане при студено пресоване, скорост на херметизиране и скорост на деформиране и други параметри.Когато мишената е студено пресована, налягането ще повлияе пряко върху качеството на заготовката на мишената;Скоростта на натиск има голямо влияние върху стратификацията на целевата заготовка и първоначалното състояние, когато прахът е равномерно напълнен в отрицателната форма, е слабо състояние, което има много пори и газове, а изпускането на газове отнема период от време.
2、TheВлияние на плесента върху качеството на целта
Формата също има известно влияние върху формирането на целевата заготовка.Основните влияещи фактори включват повърхностното покритие на вътрешната страна на матрицата, пролуката между поансона и кухината на матрицата и т.н. ако пролуката е твърде голяма, ще настъпи изтичане на прах и изтичане на прах, което ще направи пределната плътност на заготовката е ниска и проблеми с качеството, като падане на ръба по време на изваждане.
3、Ефектът на съдържанието на влага в материала върху качеството на целта
Влагата, съдържаща се в праха на целевия материал, е еквивалентна на ефекта на смазката и нейното присъствие може да намали триенето между частиците, което е благоприятно за ефективното предаване на налягането при студено пресоване, а също така е благоприятно за гладко приплъзване и пренареждане между праховите частици.Въпреки това, когато водното съдържание е твърде малко или твърде много, това ще повлияе на качеството на целта.
Когато съдържанието на вода в ITO праха е по-малко от 2%, вероятността от проблеми с качеството, като загуба на ръбове и разслояване на целевия материал, ще бъде значително увеличена, когато други условия, като налягане при студено пресоване и съдържание на свързващо вещество, са същите. Когато водата съдържанието в ITO прах е повече от 10%, при същото налягане при студено пресоване, съдържание на свързващо вещество и други условия, въпреки че частиците на праха се плъзгат и пренареждат по-лесно, водата се отделя от вътрешността на формата, което ще причини проблема с падането ръбове около заготовката на целевия материал.Резултатите показват, че когато водното съдържание на праха е между 3% и 6%, качеството на заготовката се контролира ефективно.
4、Влияние на съдържанието на свързващо вещество върху целевото качество
Количеството на вграденото свързващо вещество има голямо влияние върху качеството на целевия материал.Когато количеството на вграждане е по-малко от 1%, целевата заготовка ще има много сериозен проблем с качеството, в този момент ефектът на свързващото вещество не се показва и има малък ефект върху подобряването на здравината на целевата заготовка. увеличаването на включването на свързващо вещество до 2% и 3%, здравината на целевия материал се подобрява и проблемът с качеството на целевия материал е значително намален.Въпреки това, когато свързващото вещество е включено до 4%, въпреки че проблемът с качеството на студено пресованата заготовка на целевия материал изчезва, целевият материал понякога се разслоява по време на последващия процес на изваждане от формата.
Време на публикуване: 22 април 2022 г