Мишената от титанова сплав за разпръскване и металният титан са съставени от титан, така че информацията е приблизително една и съща, но разликата между двете се състои главно в мишената от титанова сплав за разпрашаване, която е направена от метален титан по няколко начина, а титанът се среща в природата като титанова руда. Мишените от титанова сплав могат да се използват широко в много професионални категории. Сега авторът на Пекин Ричмат обобщи няколко общи мишени от титанова сплав по отношение на използването на ситуацията, за да ни даде подробно въведение.
一、Ti цели за интегрални схеми
Изискванията за разпръскване на мишени от титанова сплав са различни за неинтегрираните схеми и интегралните схеми.Като цяло интегралните схеми имат по-високи изисквания за данни за покритие, като по-висока чистота, по-малък размер на зърното и по-точна точност на мащаба. Чистотата на титаниеви мишени в интегралните схеми е по-висока от 99,995%, което е по-високо от това, използвано в неинтегрирани вериги, което показва, че изискванията за различни употреби на титанови цели са много различни.
二、Ti цел за дисплей с плосък панел
Мишените от титаниева сплав, използвани в дисплеи с плосък панел, включват течнокристален дисплей, плазмен дисплей, електролуминесцентен дисплей и дисплей с полеви емисии. Тънкият филм на плоския дисплей е метод на разпръскване, Al, Cu, Ti и Mo са основните метални мишени за разпръскване за плосък панел дисплеи. Чистотата на целите от титанова сплав за дисплеи с плосък панел обикновено е по-голяма от 99,9%.
三、Ti цели за декоративни материали
Целевият материал от титанова сплав с висока чистота има отлична устойчивост на корозия на въздуха, дългосрочна употреба във въздуха не променя цвета, за да се гарантира, че оригиналният цвят на титана и човешкият контакт не е алергичен и други отлични характеристики.Следователно титанът с висока чистота може да се използва и като декоративни материали през последните години, като гривни, часовници и очила и други орнаменти с чистота на титан достигна ниво 5N.
四、Ti цели за помпени системи със свръхвисок вакуум
Като химически активен метал титанът може да реагира с много елементи и съединения при висока температура.Мишената от титанова сплав с висока чистота има силен адсорбционен капацитет за активни газове (като O2, N2, CO, CO2, водна пара над 650°C), а Ti филмът, изпаряващ се върху стената на помпата, може да образува повърхност с висока адсорбционна производителност .Това свойство прави Ti широко използван като геттер в система за извличане на газ с ултрависок вакуум. Ако се използва за подобряване на помпата, помпата за разпръскване на йони и т.н., може да направи крайното работно налягане на помпата за разпръскване на йони толкова ниско, колкото 10-9PA
Време на публикуване: 25 април 2022 г