С увеличаването на търсенето на пазара все повече и повече видове мишени за разпръскване се актуализират непрекъснато.Някои са познати, а други непознати на клиентите.Сега бихме искали да споделим с вас какви са видовете мишени за магнетронно разпръскване.
Мишената за разпръскване има следните типове: мишена за метално разпрашващо покритие, мишена за разпръскване от сплав, мишена за керамично разпръскване, мишена за разпръскване от боридна керамика, мишена за разпръскване от карбидна керамика, мишена за разпръскване от флуоридна керамика, нитридна керамична мишена за разпръскване, оксидна керамична мишена, селенидна керамична мишена за разпръскване , силицидна керамична мишена за разпръскване, сулфидна керамична мишена за разпръскване, телуридна керамична мишена за разпрашване, други керамични мишени, легирана с хром силициев оксид керамична мишена (CR SiO), мишена от индиев фосфид (INP), мишена от оловен арсенид (pbas), мишена от индиев арсенид (InAs) ).
Магнетронното разпръскване обикновено се разделя на два вида: разпръскване с постоянен ток и радиочестотно разпръскване.Принципът на оборудването за разпръскване с постоянен ток е прост и неговата скорост също е бърза при разпръскване на метал.RF разпръскването е широко използвано.В допълнение към разпръскването на проводими данни, той може да разпръсква и непроводими данни.В същото време мишената за разпръскване също извършва реактивно разпръскване, за да подготви данни за съединения като оксиди, нитриди и карбиди.Ако RF честотата се увеличи, това ще стане микровълново плазмено разпръскване.Понастоящем обикновено се използва микровълново плазмено разпръскване с електронен циклотронен резонанс (ECR).
Време на публикуване: 18 май 2022 г