1、 Подготовка за разпръскване
Много е важно да поддържате вакуумната камера, особено системата за разпръскване чиста.Всички остатъци, образувани от смазочно масло, прах и предишно покритие, ще събират водни пари и други замърсители, което ще повлияе пряко на степента на вакуум и ще увеличи възможността за повреда на филмообразуването.Късо съединение или мишена, грапава повърхност на филма и прекомерно съдържание на химически примеси често са причинени от непочистена разпръскваща камера, разпръскващ пистолет и мишена.За да се спазват характеристиките на състава на покритието, е необходимо да се почисти и изсуши разпръскващия газ (аргон или кислород).След като субстратът е монтиран в камерата за разпрашаване, въздухът трябва да се извлече, за да се достигне вакуумът, необходим за процеса.Екраниращият капак в тъмната зона, стената на кухината и съседната повърхност също трябва да се поддържат чисти.Когато почиствате вакуумната камера, препоръчваме да използвате бластиране със стъклена топка за третиране на прашните части, заедно със сгъстен въздух за отстраняване на ранните остатъци от пръскане около камерата и след това тихо да полирате външната повърхност с шкурка, импрегнирана с алуминиев оксид.След полиране на марлената хартия, тя се почиства със спирт, ацетон и дейонизирана вода.Заедно, той се застъпва за използването на индустриална прахосмукачка за спомагателно почистване.Мишените, произведени от Gaozhan metal, са опаковани във вакуумно затворени пластмасови торбички,
Вграден влагозащитен агент.Когато използвате мишената, моля, не я докосвайте директно с ръката си.Забележка: когато използвате мишената, моля, носете чисти и без мъх ръкавици за поддръжка.Никога не докосвайте целта директно с ръцете си
2、 Почистване на цели
Целта на почистването на мишената е да се отстрани прахът или мръсотията, които могат да съществуват по повърхността на мишената.
Металната мишена може да се почиства в четири стъпки,
Първата стъпка е да почистите с мека кърпа без влакна, напоена с ацетон;
Втората стъпка е подобна на първата стъпка, почистване със спирт;
Стъпка 3: почистете с дейонизирана вода.След измиване с дейонизирана вода, поставете целта във фурната и я изсушете при 100 ℃ за 30 минути.
Почистването на оксидни и керамични мишени трябва да се извършва с „кърпа без мъх“.
Четвъртата стъпка е да се измие мишената с аргон с високо налягане и нисък воден газ след отстраняване на прашната зона, така че да се премахнат всички частици примеси, които могат да образуват дъга в системата за разпръскване
3、 Целево устройство
В процеса на инсталиране на мишената Z важните предпазни мерки са да се осигури добра топлопроводима връзка между мишената и охлаждащата стена на пистолета за разпръскване.Ако изкривяването на охлаждащата пластина е сериозно или изкривяването на задната плоча е сериозно, целевото устройство ще се спука или огъне и топлопроводимостта от задната цел към целта ще бъде силно засегната, което ще доведе до повреда на разсейването на топлината в процеса на разпръскване и целта ще се спука или пропусне
За да се осигури топлопроводимост, може да се постави слой от графитна хартия между катодната охлаждаща стена и целта.Моля, обърнете внимание, внимателно проверете и изяснете плоскостта на охлаждащата стена на използвания пистолет за разпръскване, за да сте сигурни, че О-пръстенът винаги е на място.
Тъй като чистотата на използваната охлаждаща вода и прахът, който може да се появи по време на работа на оборудването, ще се отлагат в резервоара за вода за охлаждане на катода, е необходимо да проверите и почистите резервоара за вода за охлаждане на катода, когато инсталирате мишената, за да осигурите гладко циркулация на охлаждаща вода и че входът и изходът няма да бъдат блокирани.
Някои катоди са планирани да имат малко пространство с анода, така че при инсталиране на целта е необходимо да се гарантира, че няма докосване или проводник между катода и анода, в противен случай ще възникне късо съединение.
Обърнете се към ръководството на оператора на оборудването за информация как да работите правилно с целта.Ако няма такава информация в ръководството за потребителя, моля, опитайте се да инсталирате устройството според съответните предложения, предоставени от Gaozhan metal.Когато затягате целевото приспособление, първо затегнете един болт на ръка, а след това затегнете на ръка друг болт по диагонала.Повторете това, докато всички болтове на устройството се затегнат и след това затегнете с нещо.
4、 Проверка на късо съединение и херметичност
След завършване на целевото устройство е необходимо да се провери късото съединение и херметичността на целия катод,
Предлага се да се определи дали има късо съединение в катода с помощта на съпротивителен метър
Дискриминация на редове.След като се потвърди, че няма късо съединение в катода, може да се извърши откриване на теч и вода може да се въведе в катода, за да се потвърди дали има изтичане на вода.
5、 Предварително разпръскване на целта
Предварителното разпрашаване на мишената препоръчва разпрашаване с чист аргон, което може да почисти повърхността на мишената.Когато мишената е предварително разпръсната, се препоръчва бавно да се увеличава мощността на разпръскване, а скоростта на увеличаване на мощността на керамичната мишена е 1,5WH / cm2.Скоростта на предварително разпръскване на метална мишена може да бъде по-висока от тази на керамичния мишенен блок, а разумната скорост на увеличаване на мощността е 1,5 WH / cm2.
В процеса на предварително разпръскване трябва да проверим дъгата на мишената.Времето за предварително разпрашаване обикновено е около 10 минути.Ако няма феномен на дъгова дъга, непрекъснато увеличавайте мощността на разпръскване
До зададената мощност.Според опита, приемливата Z висока мощност на разпръскване на метална мишена е
25 вата / cm2, 10 вата / cm2 за керамична цел.Моля, вижте основата за настройка и опита с налягането във вакуумната камера по време на разпръскване в ръководството за работа на системата на потребителя.Като цяло трябва да се гарантира, че температурата на водата на изхода на охлаждащата вода трябва да бъде по-ниска от 35 ℃, но Z е важно да се гарантира, че циркулационната система на охлаждащата вода може да работи ефективно
Бързата циркулация на преохлаждащата вода отнема топлината, което е важна гаранция за осигуряване на непрекъснато разпръскване с висока мощност.За метални мишени обикновено се препоръчва потокът на охлаждащата вода да е такъв
20 lpm водно налягане е около 5 gmp;За керамични мишени обикновено се препоръчва водният поток да е 30 lpm и водното налягане да е около 9gmp
6、 Целева поддръжка
За да се предотврати късо съединение и дъга, причинени от нечиста кухина в процеса на разпръскване, е необходимо да се отстрани разпръскването, натрупано в центъра и от двете страни на разпръскващата пътека на етапи,
Това също така помага на потребителите да разпръскват непрекъснато при z висока плътност на мощността
7、 Целево съхранение
Мишените, предоставени от Gaozhan metal, са опаковани в двуслойни вакуумни пластмасови торбички.Ние препоръчваме потребителите да съхраняват мишените, независимо дали са метални или керамични, във вакуумна опаковка.По-специално, целите за свързване трябва да се съхраняват при условия на вакуум, за да се предотврати окисляването на свързващия слой да повлияе на качеството на свързване.По отношение на опаковането на метални мишени, ние се застъпваме Z да се опакова в чисти найлонови торбички
Време на публикуване: 13 май 2022 г