Мишената има много функции и широко приложение в много области.Новото оборудване за разпръскване почти използва мощни магнити за спирала на електроните, за да ускори йонизацията на аргон около мишената, което увеличава вероятността от сблъсък между мишената и аргоновите йони,
Увеличете скоростта на разпръскване.Обикновено DC разпрашването се използва за метално покритие, докато RF комуникационното разпрашване се използва за непроводими керамични магнитни материали.Основният принцип е да се използва тлеещ разряд, за да се ударят аргоновите (AR) йони върху повърхността на мишената във вакуум и катионите в плазмата ще се ускорят, за да се втурнат към повърхността на отрицателния електрод като пръскания материал.Това въздействие ще накара материала на целта да излети и да се отложи върху субстрата, за да образува филм.
Като цяло има няколко характеристики на филмовото покритие, използващо процеса на разпръскване:
(1) Метал, сплав или изолатор могат да бъдат направени в тънкослойни данни.
(2) При подходящи условия на настройка филмът с еднакъв състав може да бъде направен от множество и неподредени цели.
(3) Сместа или съединението от целевия материал и газовите молекули може да се направи чрез добавяне на кислород или други активни газове в атмосферата на разреждане.
(4) Целевият входен ток и времето за разпръскване могат да се контролират и е лесно да се получи високопрецизна дебелина на филма.
(5) Полезно е за производството на други филми.
(6) Разпръснатите частици почти не се влияят от гравитацията и целта и субстратът могат да се организират свободно.
Време на публикуване: 24 май 2022 г