Широкото използване на целевия материал в различни професии прави търсенето на целеви материал все по-високо.Следното Ние ще представям накратко Вие какви са основните функционални изисквания на целта, хопинж да ти помогне.
Чистота: Чистотата е един от основните функционални показатели на целта, тъй като чистотата на целта има голямо влияние върху функцията на филма.Но на практика чистотата на целевия материал не е същата.Например, с бързия растеж на професията на микроелектрониката, размерът на силициевата пластина се е развил от 6“, 8“ до 12″, а ширината на окабеляването е намаляла от 0,5um на 0,25um, 0,18um и дори 0,13um.След като 99,995% от целевата чистота може да отговори на технологичните изисквания на 0,35UMIC.Подготовката на линия 0,18 um изисква 99,999% или дори 99,9999% чистота на целевия материал.
Плътност: За да се намали порьозността в целевото твърдо вещество и да се подобри функцията на разпрашващия филм, обикновено се изисква целта да има висока плътност.Целевата плътност засяга не само скоростта на разпрашаване, но и електрическите и оптичните свойства на филмите.Колкото по-висока е целевата плътност, толкова по-добра е функцията на филма. В допълнение, плътността и здравината на целевия материал бяха увеличени, за да може той да издържа по-добре на топлинния стрес по време на разпръскване.Плътността също е един от важните функционални показатели на целевите вещества.
Съдържание на примеси: примесите в целевото твърдо вещество и кислородът и водните пари в порите са основните източници на замърсяване на натрупаните филми. Различните целеви материали за различни цели имат различни изисквания за различно съдържание на примеси.Например мишените от чист алуминий и алуминиеви сплави, използвани в полупроводниковата индустрия, имат специални изисквания за съдържание на алкални метали и съдържание на радиоактивни елементи.
Време на публикуване: 6 юни 2022 г