Разпръснатите целеви материали имат високи изисквания по време на употреба, не само за чистота и размер на частиците, но и за еднакъв размер на частиците.Тези високи изисквания ни карат да обръщаме повече внимание, когато използваме материали за мишени за разпрашаване.
1. Подготовка за разпръскване
Много е важно да се поддържа чистотата на вакуумната камера, особено системата за разпръскване.Лубрикантите, прахът и всякакви остатъци от предишни покрития могат да натрупват замърсители като вода, влияейки пряко на вакуума и увеличавайки вероятността от повреда на филма.Късите съединения, дъговата дъга на мишената, грапавите повърхности, образуващи филм, и прекомерните химически примеси обикновено се причиняват от нечисти камери за разпръскване, пистолети и мишени.
За да се запазят съставните характеристики на покритието, газът за разпръскване (аргон или кислород) трябва да бъде чист и сух.След инсталирането на субстрата в камерата за разпрашаване е необходимо да се извлече въздух, за да се постигне необходимото ниво на вакуум за процеса.
2. Целево почистване
Целта на почистването на мишената е да се отстрани всякакъв прах или мръсотия, които могат да съществуват по повърхността на мишената.
3. Целева инсталация
Най-важното нещо, на което трябва да обърнете внимание по време на процеса на инсталиране на материала на мишената, е да осигурите добра термична връзка между материала на мишената и охлаждащата стена на пистолета за разпръскване.Ако охлаждащата стена или задната плоча са силно изкривени, това може да причини напукване или огъване по време на монтажа на целевия материал.Предаването на топлина от задната мишена към целевия материал ще бъде силно засегнато, което ще доведе до невъзможност за разсейване на топлината по време на разпръскване, което в крайна сметка ще доведе до напукване или отклонение на целевия материал.
4. Проверка на късо съединение и уплътнение
След монтажа на целевия материал е необходимо да се провери късото съединение и уплътнението на целия катод.Препоръчително е да използвате омметър и мегаомметър, за да определите дали катодът е късо съединение.След като се потвърди, че катодът няма късо съединение, може да се извърши откриване на теч чрез инжектиране на вода в катода, за да се определи дали има теч.
5. Предварително разпръскване на целевия материал
Препоръчва се използването на чист газ аргон за предварително разпръскване на целевия материал, който може да почисти повърхността на целевия материал.Препоръчва се бавно да се увеличава мощността на разпръскване по време на процеса на предварително разпрашаване за целевия материал.Силата на керамичния целеви материал
Време на публикуване: 19 октомври 2023 г