Целевият материал, използван в индустрията за съхранение на данни, изисква висока чистота и примесите и порите трябва да бъдат сведени до минимум, за да се избегне генерирането на частици примеси по време на разпръскване.Целевият материал, използван за висококачествени продукти, изисква размерът на неговите кристални частици да бъде малък и еднакъв и да няма кристална ориентация.По-долу нека да разгледаме изискванията на индустрията за оптично съхранение за целевия материал?
1. Чистота
В практическите приложения чистотата на целевите материали варира в зависимост от различните индустрии и изисквания.Въпреки това, като цяло, колкото по-висока е чистотата на целевия материал, толкова по-добра е производителността на разпръснатия филм.Например в индустрията за оптично съхранение се изисква чистотата на целевия материал да бъде по-голяма от 3N5 или 4N
2. Съдържание на примеси
Целевият материал служи като източник на катод при разпрашване, а примесите в твърдото вещество и кислородът и водните пари в порите са основните източници на замърсяване за отлагане на тънки филми.Освен това има специални изисквания за мишени с различна употреба.Вземайки индустрията за оптично съхранение като пример, съдържанието на примеси в мишените за разпрашаване трябва да се контролира много ниско, за да се гарантира качеството на покритието.
3. Размер на зърното и размерен състав
Обикновено целевият материал има поликристална структура с размери на зърната, вариращи от микрометри до милиметри.За мишени със същия състав скоростта на разпръскване на мишени с фини зърна е по-бърза от тази на мишени с груби зърна.За цели с по-малки разлики в размера на зърното, дебелината на отложения филм също ще бъде по-равномерна.
4. Компактност
За да се намали порьозността в твърдия материал на мишената и да се подобри работата на филма, обикновено се изисква материалът на мишената за разпрашаване да има висока плътност.Плътността на целевия материал зависи главно от процеса на подготовка.Целевият материал, произведен чрез метод на топене и леене, може да гарантира, че няма пори вътре в целевия материал и плътността е много висока.
Време на публикуване: 18 юли 2023 г