Много приятели относно поддръжката на мишената има повече или по-малко въпроси, напоследък също има много клиенти, които се консултират относно поддръжката на проблемите, свързани с мишената, нека редакторът на RSM да сподели за нас знания за поддръжката на разпрашена цел.
Как трябва да се поддържат мишените за разпръскване?
1、 Целева поддръжка
За да се избегнат късо съединение и дъгова дъга, причинени от нечиста кухина в процеса на разпръскване, е необходимо периодично да се отстраняват разпръскващите вещества, натрупани в средата и от двете страни на разпръскващата пътека, което също помага на потребителите да разпръскват непрекъснато при висока плътност на мощността.
2、 Целево съхранение
Препоръчваме на потребителите да съхраняват целта (независимо дали е метална или керамична) във вакуумна опаковка, особено подходящата цел трябва да се съхранява във вакуум, за да се предотврати окисляването на монтажния слой да повлияе на качеството на монтажа.Що се отнася до опаковането на металните мишени, препоръчваме те да бъдат опаковани поне в чисти найлонови торбички.
3、 Почистване на цели
Първата стъпка е да почистите с мека кърпа без влакна, напоена с ацетон;
Втората стъпка е подобна на първата стъпка, почистване със спирт;
Стъпка 3: почистете с дейонизирана вода.След почистване с дейонизирана вода, целта се поставя във фурната и се суши при 100 ℃ за 30 минути.Препоръчва се да се използва „кърпа без мъх“ за почистване на оксидни и керамични цели.
Четвъртата стъпка е измиване на мишената с аргон с високо налягане и ниска влажност, за да се отстранят всички нечисти частици, които могат да причинят дъга в системата за разпръскване.
4、 Проверка на късо съединение и херметичност
След като целта е инсталирана, целият катод трябва да се провери за късо съединение и плътност.Препоръчва се да се прецени дали има късо съединение в катода с помощта на резисторметър и мегер.След потвърждаване, че няма късо съединение в катода, може да се извърши проверка за изтичане на вода и вода може да се въведе в катода, за да се определи дали има изтичане на вода.
5、 Опаковка и транспорт
Всички мишени са опаковани във вакуумирани найлонови торби с влагоустойчив агент.Външната опаковка обикновено е дървена кутия със слой против сблъсък наоколо, за да предпази целта и задната платка от повреда по време на транспортиране и съхранение.
Време на публикуване: 15 юли 2022 г