Разпръснатите молибденови мишени се използват широко в електронната индустрия, слънчевите клетки, стъклените покрития и други области поради присъщите им предимства.С бързото развитие на съвременните технологии в миниатюризацията, интеграцията, цифровизацията и интелигентността, използването на молибденови цели ще продължи да се увеличава и изискванията за качество за тях също ще стават все по-високи.Така че трябва да намерим начини да подобрим степента на използване на молибденови цели.Сега редакторът на RSM ще представи няколко метода за подобряване на степента на използване на разпръскващи молибденови цели за всички
1. Добавете електромагнитна бобина на обратната страна
За да се подобри степента на използване на разпръснатата молибденова мишена, може да се добави електромагнитна намотка на обратната страна на планарната магнетронна разпръскваща молибденова мишена и магнитното поле на повърхността на молибденовата мишена може да се увеличи чрез увеличаване на тока на електромагнитната намотка, така че да се подобри степента на използване на молибденовата цел.
2. Изберете материал за тръбна въртяща се мишена
В сравнение с плоски мишени, изборът на тръбна въртяща се мишена структура подчертава нейните съществени предимства.Като цяло степента на използване на плоските мишени е само 30% до 50%, докато степента на използване на тръбните въртящи се мишени може да достигне над 80%.Освен това, когато се използва въртяща се куха тръба за магнетронно разпръскване на мишената, тъй като мишената може да се върти около неподвижния магнитен модул през цялото време, няма да има повторно отлагане на нейната повърхност, така че животът на въртящата се мишена обикновено е повече от 5 пъти по-дълъг отколкото тази на равнинната цел.
3. Сменете с ново оборудване за разпръскване
Ключът към подобряване на степента на използване на целевите материали е завършването на подмяната на оборудването за разпрашаване.По време на процеса на разпръскване на целеви материал за разпръскване на молибден, около една шеста от разпръскващите атоми ще се отложат върху стената или скобата на вакуумната камера, след като бъдат ударени от водородни йони, което увеличава разходите за почистване на вакуумното оборудване и времето за престой.Така че подмяната на ново разпръскващо оборудване може също да помогне за подобряване на степента на използване на разпръскващите молибденови цели.
Време на публикуване: 24 май 2023 г