Всички знаем, че разпрашването е една от основните технологии за приготвяне на филмови материали.Той използва йоните, произведени от източника на йони, за да ускори агрегацията във вакуум, за да образува високоскоростен йонен лъч, бомбардира твърдата повърхност и йоните обменят кинетична енергия с атомите на твърдата повърхност, така че атомите на твърдата повърхност повърхност оставят твърдото вещество и се отлагат върху повърхността на субстрата.Бомбардираното твърдо вещество е суровината за отлагане на филм чрез разпръскване, което се нарича мишена за разпръскване.
Различни видове разпръснати филмови материали са широко използвани в полупроводникови интегрални схеми, носители за запис, планарен дисплей, повърхностно покритие на инструменти и матрици и т.н.
Мишените за разпръскване се използват главно в електронната и информационната индустрия, като интегрални схеми, съхранение на информация, дисплеи с течни кристали, лазерни памети, електронно контролно оборудване и др.;Може да се използва и в областта на стъклените покрития;Може да се използва и в устойчиви на износване материали, устойчивост на корозия при висока температура, декоративни продукти от висок клас и други индустрии.
Има много видове разпръскващи мишени и има различни методи за класифициране на мишени:
Според състава може да се раздели на метална мишена, мишена от сплав и мишена от керамично съединение.
Според формата, тя може да бъде разделена на дълга цел, квадратна цел и кръгла цел.
Тя може да бъде разделена на микроелектронна мишена, магнитна цел за запис, мишена за оптичен диск, мишена от благороден метал, мишена за устойчивост на филм, мишена за проводящ филм, мишена за повърхностна модификация, мишена за маска, мишена за декоративен слой, мишена за електроди и други цели според областта на приложение.
Според различни приложения, той може да бъде разделен на керамични мишени, свързани с полупроводници, керамични мишени със средно записване, керамични мишени за дисплей, свръхпроводящи керамични мишени и керамични мишени с гигантско магнитосъпротивление.
Време на публикуване: 29 юли 2022 г