Както всички знаем, методите, които обикновено се използват във вакуумното покритие, са вакуумна транспирация и йонно разпрашване.Каква е разликата между транспирационното покритие и разпръскващото покритие Многохората има такива въпроси.Нека споделим с вас разликата между транспирационното покритие и разпръскващото покритие
Филмът за вакуумна транспирация е да нагрява данните, които трябва да се транспирират, до фиксирана температура чрез съпротивително нагряване или електронен лъч и лазерно обвиване в среда със степен на вакуум не по-малка от 10-2Pa, така че енергията на топлинната вибрация на молекулите или атомите в данните надвишава енергията на свързване на повърхността, така че много молекули или атоми се транспирират или увеличават и директно ги отлагат върху субстрата, за да образуват филм.Покритието с йонно разпрашаване използва силното движение на положителни йони, генерирано от газов разряд под въздействието на електрическо поле, за да бомбардира мишената като катод, така че атомите или молекулите в мишената да избягат и да се отложат върху повърхността на покрития детайл, за да образуват необходимия филм.
Най-често използваният метод за вакуумно транспирационно покритие е методът на резистентно нагряване.Неговите предимства са простата структура на източника на отопление, ниската цена и удобната работа.Недостатъците му са, че не е подходящ за огнеупорни метали и устойчиви на висока температура среди.Нагряването с електронен лъч и лазерното нагряване могат да преодолеят недостатъците на съпротивителното нагряване.При нагряване с електронен лъч, фокусираният електронен лъч се използва за директно нагряване на обвивките на данните, а кинетичната енергия на електронния лъч се превръща в топлинна енергия, за да направи транспирацията на данните.Лазерното нагряване използва лазер с висока мощност като източник на топлина, но поради високата цена на лазера с висока мощност, той може да се използва само в малък брой изследователски лаборатории.
Умението за разпръскване е различно от умението за вакуумна транспирация.Разпрашването се отнася до феномена, при който заредени частици се бомбардират обратно към повърхността (целта) на тялото, така че твърдите атоми или молекули се излъчват от повърхността.Повечето от излъчените частици са атомни, които често се наричат разпръснати атоми.Разпръснатите частици, използвани за обстрелване на цели, могат да бъдат електрони, йони или неутрални частици.Тъй като йоните лесно получават необходимата кинетична енергия под електрическо поле, йоните се избират най-вече като обвиващи се частици.
Процесът на разпръскване се основава на тлеещ разряд, т.е. разпръскващите йони идват от газов разряд.Различните умения за разпръскване имат различни методи за светещ разряд.DC диодното разпръскване използва DC светещ разряд;Триодното разпръскване е тлеещ разряд, поддържан от горещ катод;RF разпръскването използва RF светещ разряд;Магнетронното разпрашване е тлеещ разряд, контролиран от пръстеновидно магнитно поле.
В сравнение с вакуумното транспирационно покритие, разпръскващото покритие има много предимства.Ако някое вещество може да бъде разпръснато, особено елементи и съединения с висока точка на топене и ниско налягане на парите;Адхезията между напръскания филм и субстрата е добра;Висока плътност на филма;Дебелината на филма може да се контролира и повторяемостта е добра.Недостатъкът е, че оборудването е сложно и изисква устройства с високо напрежение.
В допълнение, комбинацията от метод на транспирация и метод на разпрашване е йонно покритие.Предимствата на този метод са силна адхезия между филма и субстрата, висока скорост на отлагане и висока плътност на филма.
Време на публикуване: 9 май 2022 г