Понастоящем почти всички метални медни мишени от висок клас със свръхвисока чистота, изисквани от IC индустрията, са монополизирани от няколко големи чуждестранни мултинационални компании.Всички мишени от ултрачиста мед, необходими на местната IC индустрия, трябва да бъдат внесени, което е не само скъпо, но и сложно в процедурите за внос. Ето защо Китай спешно трябва да подобри разработването и проверката на мишени за разпръскване на мед с ултрависока чистота (6N). .Нека да разгледаме ключовите точки и трудностите при разработването на мишени за разпръскване на мед със свръхвисока чистота (6N).
1、Разработване на материали със свръхвисока чистота
Технологията за пречистване на Cu, Al и Ta метали с висока чистота в Китай е далеч от тази в индустриално развитите страни.Понастоящем повечето метали с висока чистота, които могат да бъдат доставени, не могат да отговорят на изискванията за качество на интегралните схеми за мишени за разпрашаване съгласно конвенционалните методи за анализ на всички елементи в индустрията.Броят на включванията в целта е твърде голям или неравномерно разпределен.Частици често се образуват върху пластината по време на разпръскване, което води до късо съединение или отворена верига на свързване, което сериозно засяга работата на филма.
2、Разработване на технология за подготовка на мишени за разпръскване на мед
Развитието на технологията за подготовка на мишени за разпръскване на мед се фокусира главно върху три аспекта: размер на зърното, контрол на ориентацията и еднородност.Полупроводниковата индустрия има най-високи изисквания за разпръскващи мишени и изпаряващи се суровини.Той има много строги изисквания за контрол на размера на зърното на повърхността и кристалната ориентация на целта.Размерът на зърното на целта трябва да се контролира на 100μ M по-долу, следователно контролът на размера на зърното и средствата за корелационен анализ и откриване са много важни за разработването на метални мишени.
3、Разработване на анализ итестване технология
Високата чистота на целта означава намаляване на примесите.В миналото индуктивно свързаната плазма (ICP) и атомно-абсорбционната спектрометрия бяха използвани за определяне на примесите, но през последните години анализът на качеството на тлеещ разряд (GDMS) с по-висока чувствителност постепенно се използва като стандарт метод.Методът на коефициента на остатъчно съпротивление RRR се използва главно за определяне на електрическата чистота.Неговият принцип на определяне е да се оцени чистотата на основния метал чрез измерване на степента на електронна дисперсия на примеси.Тъй като трябва да се измери съпротивлението при стайна температура и много ниска температура, лесно е да се вземе числото.През последните години, за да се изследва същността на металите, изследванията на свръхвисока чистота са много активни.В този случай RRR стойността е най-добрият начин за оценка на чистотата.
Време на публикуване: 6 май 2022 г