1. Метод на магнетронно разпрашване:
Магнетронното разпрашване може да бъде разделено на разпръскване с постоянен ток, средночестотно разпрашване и радиочестотно разпръскване
A. DC разпръскващото захранване е евтино и плътността на отложения филм е лоша.Обикновено домашните фототермични и тънкослойни батерии се използват с ниска енергия, а мишената за разпръскване е проводяща метална мишена.
Б. Енергията на радиочестотно разпръскване е висока и целта за разпръскване може да бъде непроводима цел или проводяща цел.
C. Мишената за средночестотно разпръскване може да бъде керамична мишена или метална мишена.
2. Класификация и приложение на разпръскващи мишени
Има много видове мишени за разпръскване и методите за класификация на целите също са различни.Според формата те се делят на дълга цел, квадратна цел и кръгла цел;Според състава може да се раздели на метална мишена, мишена от сплав и мишена от керамично съединение;Според различните области на приложение, той може да бъде разделен на керамични мишени, свързани с полупроводници, керамични мишени със средна записваща среда, керамични мишени за дисплей и т.н. Мишените за разпрашаване се използват главно в електронната и информационната индустрия, като индустрията за съхранение на информация.В тази индустрия мишените за разпрашаване се използват за приготвяне на подходящи тънкослойни продукти (твърд диск, магнитна глава, оптичен диск и др.).В момента.С непрекъснатото развитие на информационната индустрия, търсенето на записващи средни керамични цели на пазара се увеличава.Изследването и производството на мишени за записващи носители се превърна в център на голямо внимание.
Време на публикуване: 11 май 2022 г