През последните години, с напредъка на технологията на интегралните схеми (IC), свързаните приложения на интегралните схеми се развиват бързо.Мишена за разпръскване от алуминиева сплав със свръхвисока чистота, като поддържащ материал при производството на метални връзки на интегрални схеми, се превърна в гореща тема в последните местни изследвания.редакторът на RSM ще ни покаже характеристиките на мишена за разпръскване от алуминиева сплав с висока чистота.
За да се подобри допълнително ефективността на разпръскване на целта за магнетронно разпръскване и да се гарантира качеството на отложените филми, голям брой експерименти показват, че има определени изисквания за състава, микроструктурата и ориентацията на зърното на мишена за разпръскване от алуминиева сплав с ултрависока чистота.
Размерът на зърното и ориентацията на зърното на целта имат голямо влияние върху подготовката и свойствата на IC филмите.Резултатите показват, че скоростта на отлагане намалява с увеличаването на размера на зърното;За целта за разпръскване със същия състав скоростта на разпръскване на мишената с малък размер на зърното е по-бърза от тази на мишената с голям размер на зърното;Колкото по-равномерен е размерът на зърното на целта, толкова по-равномерно е разпределението на дебелината на отложените филми.
При същия инструмент за разпрашаване и параметри на процеса, скоростта на разпрашаване на целта от Al Cu сплав се увеличава с увеличаването на атомната плътност, но като цяло е стабилна в определен диапазон.Ефектът на размера на зърното върху скоростта на разпрашаване се дължи на промяната на атомната плътност с промяната на размера на зърното;Скоростта на отлагане се влияе главно от ориентацията на зърната на целта от Al Cu сплав.Въз основа на осигуряването на дела на (200) кристални равнини, увеличаването на дела на (111), (220) и (311) кристални равнини ще увеличи скоростта на отлагане.
Размерът на зърното и ориентацията на зърното на мишените от алуминиева сплав с ултрависока чистота се регулират и контролират главно чрез хомогенизиране на слитъка, гореща обработка и рекристализиращо отгряване.С развитието на размера на пластините до 20,32 см (8 инча) и 30,48 см (12 инча), размерът на целта също се увеличава, което поставя по-високи изисквания за мишени за разпръскване от алуминиева сплав с ултрависока чистота.За да се осигури качеството на филма и добива, целевите параметри на обработка трябва да бъдат стриктно контролирани, за да направят целевата микроструктура еднаква и ориентацията на зърната трябва да има силни (200) и (220) равнинни текстури.
Време на публикуване: 30 юни 2022 г