Наскоро много приятели попитаха за характеристиките на мишените за разпръскване на молибден.В електронната индустрия, за да се подобри ефективността на разпрашаване и да се гарантира качеството на отложените филми, какви са изискванията за характеристиките на мишените за разпрашаване на молибден?Сега техническите експерти от RSM ще ни обяснят.
1. Чистота
Високата чистота е основно характерно изискване за целта за разпръскване на молибден.Колкото по-висока е чистотата на молибденовата цел, толкова по-добра е производителността на разпръснатия филм.Обикновено чистотата на целта за разпръскване на молибден трябва да бъде най-малко 99,95% (масова част, същата по-долу).Въпреки това, с непрекъснатото подобряване на размера на стъкления субстрат в LCD индустрията, дължината на окабеляването трябва да бъде удължена и ширината на линията трябва да бъде по-тънка.За да се гарантира еднаквостта на филма и качеството на окабеляването, чистотата на целта за разпръскване на молибден също трябва да бъде съответно повишена.Следователно, според размера на разпръснатия стъклен субстрат и средата на използване, чистотата на целта за разпръскване на молибден се изисква да бъде 99,99% – 99,999% или дори по-висока.
Мишената за разпръскване на молибден се използва като източник на катод при разпръскване.Примесите в твърдите вещества и кислородът и водните пари в порите са основните източници на замърсяване на отложените филми.В допълнение, в електронната индустрия, тъй като йоните на алкални метали (Na, K) лесно се превръщат в подвижни йони в изолационния слой, производителността на оригиналното устройство е намалена;Елементи като уран (U) и титан (TI) ще бъдат освободени α рентгенови лъчи, което ще доведе до мека повреда на устройствата;Йоните на желязо и никел ще причинят изтичане на интерфейса и увеличаване на кислородните елементи.Следователно, в процеса на подготовка на мишена за разпръскване на молибден, тези примесни елементи трябва да бъдат строго контролирани, за да се сведе до минимум тяхното съдържание в мишената.
2. Размер на зърното и разпределение по размер
Като цяло целта за разпръскване на молибден е с поликристална структура и размерът на зърното може да варира от микрон до милиметър.Експерименталните резултати показват, че скоростта на разпръскване на мишена с фини зърна е по-бърза от тази на мишена с груби зърна;За целта с малка разлика в размера на зърното разпределението на дебелината на отложения филм също е по-равномерно.
3. Кристална ориентация
Тъй като целевите атоми са лесни за преференциално разпръскване по посока на най-близкото разположение на атомите в шестоъгълна посока по време на разпрашаване, за да се постигне най-висока скорост на разпрашаване, скоростта на разпрашаване често се увеличава чрез промяна на кристалната структура на мишената.Кристалната посока на мишената също има голямо влияние върху равномерността на дебелината на разпръснатия филм.Следователно е много важно да се получи определена кристално ориентирана целева структура за процеса на разпрашаване на филма.
4. Уплътняване
В процеса на разпръскване на покритие, когато целта за разпръскване с ниска плътност е бомбардирана, газът, съществуващ във вътрешните пори на целта, внезапно се освобождава, което води до пръскане на целеви частици или частици с голям размер или филмовият материал е бомбардиран от вторични електрони след образуване на филм, което води до пръскане на частици.Появата на тези частици ще намали качеството на филма.За да се намалят порите в целевото твърдо вещество и да се подобри ефективността на филма, обикновено се изисква целта за разпрашаване да има висока плътност.За целта за разпръскване на молибден, нейната относителна плътност трябва да бъде повече от 98%.
5. Обвързване на мишена и шаси
Като цяло мишената за разпръскване от молибден трябва да бъде свързана с шасито от безкислородна мед (или алуминий и други материали) преди разпрашаване, така че топлопроводимостта на мишената и шасито да е добра по време на процеса на разпрашаване.След свързването трябва да се извърши ултразвукова проверка, за да се гарантира, че несвързващата площ на двете е по-малка от 2%, така че да отговарят на изискванията за високомощно разпръскване, без да падат.
Време на публикуване: 19 юли 2022 г